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Testing method on pass through flux of magnetic sputtering target
Standard in brief
Scope of Application：
本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。
本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。
Basic information
Standard No：YS/T 1124-2016
Standard Name：磁性溅射靶材透磁率测试方法
English Name：Testing method on pass through flux of magnetic sputtering target
Standard Status：现行
Release Date：2016-07-11
Effective Date：2017-01-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：77.120.99
CCS Number：H21
Publication Information
Number of pages：8
Number of words：6 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2017-05-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：中华人民共和国工业和信息化部
Standard Type：QT
Standard Attribute：YS
Other Standard Number：1124
Drafter：罗俊锋、万小勇、向磊、丁照崇、李勇军、何金江、徐国进、夏乾坤、刘晓、王越
Drafting Organization：有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院
Management Organization：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
Proposing Department：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
