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Ruthenium powder for ruthenium sputttering target
Standard in brief
Scope of Application：
本标准规定了硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单）内容。
本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉（以下简称钌粉）。
Basic information
Standard No：YS/T 1068-2015
Standard Name：制备钌靶用钌粉
English Name：Ruthenium powder for ruthenium sputttering target
Standard Status：现行
Release Date：2015-04-30
Effective Date：2015-10-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：77.150.99
CCS Number：H68
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 5162,GB/T 6524,GB/T 23275,HB 5220.3,HB 5220.49
Publication Information
Number of pages：8
Number of words：10 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2015-10-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：中华人民共和国工业和信息化部
Standard Type：QT
Standard Attribute：YS
Other Standard Number：1068
Drafter：谭志龙、郭俊梅、张俊敏、向磊、王传军、毕珺、闻明、管伟明、陈松、朱武勋
Drafting Organization：贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院
Management Organization：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
Proposing Department：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
