This standard is the Chinese version electronic standard. After you successfully purchase, we will send the electronic version of this standard to your email address. If you have any question, please contact email: ChineseStandardsLibraryS001@gmail.com.
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Forming limit measuring method of metallic film materials
Standard in brief
Scope of Application：
本文件描述了测量厚度范围为0.5 μm～300 μm 金属膜材料成形极限的方法。
本文件适用于通过压印等成型工艺制造电子元器件、MEMS 的金属膜材料。
Basic information
Standard No：GB/T 44849-2024
Standard Name：微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法
English Name：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Forming limit measuring method of metallic film materials
Standard Status：现行
Release Date：2024-10-26
Effective Date：2025-05-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：31.080.99
CCS Number：L59
Related Standards
Referenced Standards：IEC 62047-1
Adopted Standards：IEC 62047-14:2012
Adopted Standard Name：《半导体器件 微机电器件 第14部分:金属膜材料成形极限测量方法》
Adoption Level：IDT
Publication Information
Number of pages：24
Number of words：26 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2024-10-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：44849
Drafter：曹诗亮、李根梓、马卓标、胡永刚、孙立宁、许磊、王雄伟、王学文、王春举、钱峰、张森、武斌、张红旗、张启心、汤一、陈林、王文婧
Drafting Organization：合肥美的电冰箱有限公司、中机生产力促进中心有限公司、无锡华润上华科技有限公司、苏州大学、微纳感知(合肥)技术有限公司、宁波科联电子有限公司、西北工业大学、美的集团股份有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、华东电子工程研究所(中国电子科技集团公司第三十八研究所)、上海临港新片区跨境数据科技有限公司、北京晨晶电子有限公司、安徽北方微电子研究院集团有限公司
Management Organization：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
Proposing Department：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
