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Carbon based films—Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry
Standard in brief
Scope of Application：
本文件描述了使用椭偏光谱法测定非晶碳基薄膜光学特性(折射率n和消光系数k)以及通过n-k 图谱进行不同类型非晶碳基薄膜分类的方法。
本文件适用于通过离子蒸镀、溅射、电弧沉积、等离子体辅助化学气相沉积、热丝等工艺沉积的非晶碳基薄膜。
本文件不适用于通过金属或硅改性的非晶碳基薄膜，或在薄膜厚度上存在成分/性质梯度的非晶碳基薄膜。
Basic information
Standard No：GB/T 44538-2024
Standard Name：碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能
English Name：Carbon based films—Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry
Standard Status：现行
Release Date：2024-09-29
Effective Date：2025-04-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：25.220.99
CCS Number：A29
Related Standards
Adopted Standards：ISO 23216:2021
Adopted Standard Name：《碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能》
Adoption Level：MOD
Publication Information
Number of pages：12
Number of words：15 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2024-09-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：44538
Drafter：段海涛、贾丹、曹一莹、张心凤、沈学忠、高明、詹胜鹏、凃杰松、王彦峰、王流火、杨田、陈辉、骆小双、尤锦鸿、易娟、苏东艺
Drafting Organization：中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司、纳狮新材料有限公司、安徽纯源镀膜科技有限公司、中国科学院深圳先进技术研究院、广东电网有限责任公司、广州今泰科技股份有限公司
Management Organization：全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会(SAC/TC 57)
Proposing Department：中国机械工业联合会
