This standard is the Chinese version electronic standard. After you successfully purchase, we will send the electronic version of this standard to your email address. If you have any question, please contact email: ChineseStandardsLibraryS001@gmail.com.
Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS
Standard in brief
Scope of Application：
本文件描述了在俄歇电子能谱(AES)和X射线光电子能谱(XPS)中使用惰性气体离子的离子束对准方法,以确保溅射深度剖析中的良好深度分辨和表面的最佳清洁。这些方法有两类:一类是用法拉第杯测量离子束流;另一类是成像方法。其中,法拉第杯法还规定了离子束流密度和束流分布的测量要求。
本文件适用于束斑直径小于或等于1 mm 的离子枪,但不包括深度分辨优化。
Basic information
Standard No：GB/T 34326-2026
Standard Name：表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法
English Name：Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS
Standard Status：现行
Release Date：2017-09-29
Effective Date：2026-08-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：71.040.40
CCS Number：G04
Related Standards
Referenced Standards：ISO 18115-1
Adopted Standards：ISO 16531:2020
Adopted Standard Name：《表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法》
Adoption Level：IDT
Publication Information
Number of pages：24
Number of words：34 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2026-01-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：34326
Drafter：吴正龙、王海、范燕、徐鹏、王梅玲、张艾蕊
Drafting Organization：北京师范大学、中国计量科学研究院、季华实验室、国家纳米科学中心
Management Organization：全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)
Proposing Department：全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)
