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Cleanrooms and associated controlled environments—Part 14:Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration
Standard in brief
Scope of Application：
本文件适用于评估在洁净室及相关受控环境中使用的机械、测试设备、工艺设备、部件及工具等设备的适用性。根据GB/T 25915.1，关注悬浮粒子粒径范围为0.1 μm至大于或等于5 μm。
本文件不适用于：
——根据微生物污染评估适用性；
——对清洁剂及清洁技术的适用性进行测试；
——设备和材料的可清洁性；
——设备设计及材料选择的要求；
——材料的静电、热学等物理性能；
——具体工艺场合设备性能的优化；
——测试统计方法的选用；
——当地安全法规的条款和要求。
Basic information
Standard No：GB/T 25915.14-2022
Standard Name：洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性
English Name：Cleanrooms and associated controlled environments—Part 14:Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration
Standard Status：现行
Release Date：2022-12-30
Effective Date：2023-07-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：13.040.35
CCS Number：C70
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 25915.1-2021
Adopted Standards：ISO 14644-14:2016
Adopted Standard Name：《洁净室及相关受控环境 第14部分:按粒子浓度评估设备适用性》
Adoption Level：IDT
Publication Information
Number of pages：24
Number of words：37 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2022-12-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：25915.14
Drafter：周斌、郝胤博、孙玉澄、冯昕、刘俊杰、赵伟、吴志坚、夏薇佳、王芳、袁月、吴振一、韩辉、魏佳鸣、吴章勇、胡茂从、阎冬、周建平、董学鑫、张正兵、夏高丰、蔡佳义、钟庚、朱正财、刘永
Drafting Organization：苏州安泰空气技术有限公司、江苏嘉合洁净科技有限公司、中国电子系统工程第四建设有限公司、中国标准化协会、苏州市计量测试院、中国合格评定国家认可中心、中国建筑科学研究院有限公司、江苏富泰净化科技股份有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、中国电子工程设计院有限公司、上海市食品药品包装材料测试所、广东省洁净技术行业协会、天津大学、上海市室内环境净化行业协会、南京工业大学、北京中邦兴业科技有限公司、广东量化检测技术有限公司、深圳市朗奥洁净科技技术股份有限公司、江汉大学、中科圣杰(深圳)科技集团有限公司、河南盛川净化工程有限公司
Management Organization：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
Proposing Department：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
