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Basic specifications for electroheating and electromagnetic processing installations—Part 417:Silicon carbide crystal growth installations
Standard in brief
Scope of Application：
本文件规定了碳化硅单晶生长装置的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存以及订购与供货。本文件适用于在真空或保护气氛下，采用间接电阻加热生长碳化硅单晶的电热装置。采用高频感应加热的生长碳化硅单晶的装置参照使用。本文件适用于物理气相输运法碳化硅单晶生长装置，其他方法的碳化硅单晶生长装置参照使用。
Basic information
Standard No：GB/T 10067.417-2023
Standard Name：电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置
English Name：Basic specifications for electroheating and electromagnetic processing installations—Part 417:Silicon carbide crystal growth installations
Standard Status：现行
Release Date：2023-05-23
Effective Date：2023-12-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：25.180.10
CCS Number：K61
Related Standards
Referenced Standards：GB 150(所有部分),GB/T 2900.23-2008,GB 3095-2012,GB/T 5959.1-2019,GB 8978-1996,GB/T 10066.1-2019,GB/T 10066.4-2004,GB/T 10067.1-2019,GB/T 10067.4-2005,GB 12348-2008,GB 16297-1996,JB/T 9691-1999
Publication Information
Number of pages：20
Number of words：33 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2023-05-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：10067.417
Drafter：李留臣、余维江、李琨、曹姣、谢萍、张永武、李明科、赵然、潘燕萍、杨昆、周正星、李小杰、陈佩娴、金星宇、尹丹、段春芳、杨祯
Drafting Organization：江苏星特亮科技有限公司、西安电炉研究所有限公司、安徽瑞驰新能源有限公司、河南天利热工装备股份有限公司、厦门晓讯新能源科技有限公司、成都粤海金半导体材料有限公司、州市乐萌压力容器有限公司、河北同光半导体股份有限公司、张家港市中亚特种变压器制造有限公司、西安慧金科技有限公司、株洲瑞德尔智能装备有限公司、中山市合硕高品电器有限公司、广东飞成新材料有限公司、西安福莱特热处理有限公司
Management Organization：全国工业电热设备标准化技术委员会(SAC/TC 121)
Proposing Department：中国电器工业协会
