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Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Determination of geometric quantities using SPM:Calibration of measuring systems
Standard in brief
Scope of Application：
本文件描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜（SPM）扫描轴的表征和校准方法，适用于提供进一步校准的测量系统，而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。
本文件旨在：
——通过对长度单位溯源，提高SPM几何量测量结果的可比性；
——明确校准程序及验收条件的最低要求；
——确认被校准仪器的能力（赋予仪器“校准能力”所属的类别）；
——规定校准的范围（测量及环境条件、测量范围、时间稳定性、通用性）；
——根据ISO/IEC Guide 98-3，提供模型来计算SPM测量中简单几何量的不确定度；
——规定报告结果的要求。
Basic information
Standard No：GB/T 42659-2023
Standard Name：表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准
English Name：Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Determination of geometric quantities using SPM:Calibration of measuring systems
Standard Status：现行
Release Date：2023-08-06
Effective Date：2024-03-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：71.040.40
CCS Number：G04
Related Standards
Referenced Standards：ISO 11039,ISO 18115-2,ISO/IEC Guide 98-3,IEC/TS 62622
Adopted Standards：ISO 11952:2019
Adopted Standard Name：《表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量:测量系统校准》
Adoption Level：IDT
Publication Information
Number of pages：56
Number of words：102 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：Yes
Print Publication Date：2023-08-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：42659
Drafter：李伟、蔡潇雨、李适、杨树明、程碧瑶、魏佳斯、高思田
Drafting Organization：中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、西安交通大学
Management Organization：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
Proposing Department：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
