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Vacuum technology—Vacuum gauges—Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement
Standard in brief
Scope of Application：
本文件规定了四极质谱仪的特性，该质谱仪的离子源为电子轰击型，原子的质荷比（m/z）小于300。
本文件不适用于配有其他类型离子源的四极质谱仪，比如化学电离型离子源、光电离型离子源或场电离型离子源，也不适用于分析测量较大质荷比（m/z）的四极质谱仪，它们主要用于检测有机材料。
根据已出版的文献可知，四极质谱仪的计量特性依赖于仪器的设置、总压力和混合气体成分，因此，对所有应用状况下的四极质谱仪进行校准是不现实的。本文件中规定的特性方法包括真空系统的连续泄漏监测、采用示踪气体的漏率测量、残余气体分析和材料放气率测试。使用者能选择适合自身需求的特性方法，其他应用情况也能参照本文件的特性方法。
已知四极质谱仪部分参数的稳定性较差，尤其是灵敏度。因此，已校准参数，当需要精度更高时，仍需反复再校准。实际工况下，只能现场校准。因此，本文件不仅描述了校准实验室或者国家计量机构能如何校准四极质谱仪，并直接溯源到国际单位制（SI），而且描述了如何能在现场检查和维护已校准参数。
根据其物理原理，四极质谱仪需要高真空环境。通过减小进气尺寸或通过特殊离子源与分流泵相结合，四极质谱仪的操作范围能扩大到更高的压力，直至大气压力。但是，本文件不适用于采用分流抽气技术的四极质谱仪。因此，本文件中四极质谱仪入口处的压力范围不超过1 Pa。
本文件未规定制造商或者经销商宜如何调整四极质谱仪的初始参数，这些初始参数主要用来提供一个准确的m/z、恒定的质量分辨本领或恒定的传输概率，这是设备的基本参数。反之，本文件默认有一个制造商提供的参数重调程序，使用者能在现场重新调整参数。该程序旨在确保四极质谱仪的特性参数均处于最优状态。
本文件旨在让使用者通过其四极质谱仪获得最佳的计量效果。调查得知，多数情
Basic information
Standard No：GB/Z 42625-2023
Standard Name：真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性
English Name：Vacuum technology—Vacuum gauges—Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement
Standard Status：现行
Release Date：2023-05-23
Effective Date：2023-05-23
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：23.160
CCS Number：J78
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 34873-2017,ISO 14291
Adopted Standards：ISO/TS 20175:2018
Adopted Standard Name：《真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性》
Adoption Level：IDT
Publication Information
Number of pages：28
Number of words：48 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2023-05-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：42625
Drafter：孙立臣、任国华、崔寓淏、周雪茜、成永军、孙雯君、赵澜、肖寅枫、翁俊、倪博、唐俊聪、王帆、言继春、王功发、王莉娜、闫荣鑫、李唯丹、郭崇武、韩琰、刘恩均、窦仁超、张子罡、李征、陈联、管保国、宋青竹、苏玉萍、王玲玲
Drafting Organization：北京卫星环境工程研究所、中国航天科技集团有限公司第五研究院第五一〇研究所、上海精密计量测试研究所、重庆云海机械制造有限公司、沈阳汇真真空技术有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、沈阳真空技术研究所有限公司
Management Organization：全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)
Proposing Department：中国机械工业联合会
