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Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films
Standard in brief
Scope of Application：
本文件描述了窗口薄膜的鼓胀测试方法。试样由微米/纳米结构薄膜材料制备，包括金属、陶瓷和聚合物等薄膜，用于微机电系统（MEMS）、微机械等领域。薄膜厚度范围为0.1 μm～10 μm。正方形和长方形窗口宽度范围0.5 mm～4 mm，圆形窗口直径范围0.5 mm～4 mm。
本文件适用于常温环境条件下，对窗口薄膜试样施加均匀压力进行弹性模量和残余应力测试。
Basic information
Standard No：GB/T 44919-2024
Standard Name：微机电系统(MEMS)技术 薄膜力学性能的鼓胀试验方法
English Name：Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films
Standard Status：现行
Release Date：2024-11-28
Effective Date：2024-11-28
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：31.080.99
CCS Number：L59
Related Standards
Referenced Standards：IEC 62047-2:2006
Adopted Standards：IEC 62047-17:2015
Adopted Standard Name：《半导体器件 微机电器件 第17部分:薄膜机械性能的打压试验方法》
Adoption Level：IDT
Publication Information
Number of pages：24
Number of words：34 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：Yes
Print Publication Date：2024-11-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：44919
Drafter：周维虎、李根梓、孙宏霖、刘胜、霍树春、高成臣、焦斌斌、陈立国、杨剑宏、张平平、陈志文、陈思、马龙全、黄庆安、聂萌、谢红梅、陈晓梅、卢永红、张红旗、刘景全、高峰、黄晟
Drafting Organization：中国科学院微电子研究所、中机生产力促进中心有限公司、苏州容启传感器科技有限公司、武汉大学、北京大学、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、苏州晶方半导体科技股份有限公司、苏州慧闻纳米科技有限公司、工业和信息化部电子第五研究所、深圳市美思先端电子有限公司、东南大学、芯联集成电路制造股份有限公司、中关村光电产业协会、华东电子工程研究所(中国电子科技集团公司第三十八研究所)、上海交通大学、明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司、武汉高德红外股份有限公司
Management Organization：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
Proposing Department：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
