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Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method
Standard in brief
Scope of Application：
本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。本文件适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020 cm-3（0.2%）的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1×1014 cm-3。注： 硅单晶中氮含量以每立方厘米中的原子数计。
Basic information
Standard No：GB/T 42263-2022
Standard Name：硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
English Name：Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method
Standard Status：现行
Release Date：2022-12-30
Effective Date：2023-04-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：77.040
CCS Number：H17
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 14264,GB/T 22461,GB/T 32267
Publication Information
Number of pages：12
Number of words：14 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2022-12-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：42263
Drafter：马农农、何友琴、李素青、陈潇、刘立娜、何烜坤
Drafting Organization：中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司
Management Organization：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
Proposing Department：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
