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Microbeam analysis—Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers(EDS)for use with a scanning electron microscope (SEM)or an electron probe microanalyser(EPMA)
Standard in brief
Scope of Application：
本文件规定了以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X射线能谱仪最重要的特性参数。
本文件仅适用于使用基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。
本文件规定了与扫描电子显微镜(SEM)或电子探针显微分析仪(EPMA)联用的此类能谱仪性能参数的最低要求及核查方法。用于能谱分析的程序,已由ISO 22309[2]和ASTM E1508[3]规范,不在本文件范围之内。
Basic information
Standard No：GB/T 20726-2025
Standard Name：微束分析 扫描电子显微镜(SEM)或电子探针显微分析仪(EPMA)用X射线能谱仪(EDS)主要性能参数及核查方法
English Name：Microbeam analysis—Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers(EDS)for use with a scanning electron microscope (SEM)or an electron probe microanalyser(EPMA)
Standard Status：现行
Release Date：2006-01-01
Effective Date：2026-03-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：71.040.99
CCS Number：N33
Related Standards
Referenced Standards：ISO 22493,ISO 23833
Adopted Standards：ISO 15623:2021
Adopted Standard Name：《微束分析 扫描电子显微镜(SEM)或电子探针显微分析仪(EPMA)用X射线能谱仪(EDS)主要性能参数及核查方法》
Adoption Level：IDT
Publication Information
Number of pages：20
Number of words：23 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2025-08-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：20726
Drafter：毛骞、范光、王岩华、曾荣树、原江燕
Drafting Organization：中国科学院地质与地球物理研究所、核工业北京地质研究院、中国科学院化学研究所
Management Organization：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
Proposing Department：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
