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Electronic grade tetramethylsilane
Standard in brief
Scope of Application：
本文件规定了半导体行业用电子级四甲基硅烷的技术要求、检验规则、包装、标志、随货资料、运输、贮存及安全警告的要求，描述了相应的检测方法。
本文件适用于沉积氧化硅、碳化硅等硅基薄膜的电子级四甲基硅烷，作为集成电路的刻蚀硬掩层、介电层等功能层；也适用于高纯电子清洗剂和标准试剂的电子级四甲基硅烷。
Basic information
Standard No：GB/T 46699-2025
Standard Name：电子级四甲基硅烷
English Name：Electronic grade tetramethylsilane
Standard Status：现行
Release Date：2025-10-31
Effective Date：2026-05-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：31.030
CCS Number：L90
Related Standards
Referenced Standards：GB 190,GB/T 3723,GB/T 6324.8,GB/T 6680,GB/T 11446.1,GB 12463,GB 15258,GB 15603,GB/T 16483-2008,GB/T 17519-2013,GB/T 25915.1,GB/T 26793,GB/T 32566,GB/T 37837,SJ/T 11637,SJ/T 11638
Publication Information
Number of pages：20
Number of words：23 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2025-10-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：46699
Drafter：陈德义、徐文涛、曹可慰、茅炳荣、史泽远、陈功锋、张汝志、马瑞、孙明璐、李春华、孙鹏、张婷、赵俊莎、张健、鲁铮、李雪、高周、吴怡然、万烨、郝萍、郭威、魏良杰、毛国玉、汪晨、栗广奉、刘见华、刘立伟、张宝帅、孙丽丽、赵斌、曹益宁、陆平、张鹏、彭元兵、许胜霞、刘能巧、周礼、孟庆典、王艺潼、孙建、高朋、张佳瑶、钱瑶
Drafting Organization：南大光电半导体材料有限公司、苏州实验室、中国电子技术标准化研究院、江苏南大光电材料股份有限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司、长江存储科技有限责任公司、上海市计量测试技术研究院、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、全椒南大光电材料有限公司、宁波南大光电材料有限公司、南大光电(乌兰察布)有限公司、浙江中宁硅业股份有限公司、金宏气体股份有限公司、艾生科(江苏)化工科技有限公司、南大光电(淄博)有限公司
Management Organization：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
Proposing Department：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
