This standard is the Chinese version electronic standard. After you successfully purchase, we will send the electronic version of this standard to your email address. If you have any question, please contact email: ChineseStandardsLibraryS001@gmail.com.
Surface chemical analysis—Analysis of metal oxide films by glow discharge optical emission spectrometry
Standard in brief
Scope of Application：
本文件描述了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。
本方法适用于测定金属上厚度为5 nm~10 000 nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰、锆和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。
Basic information
Standard No：GB/T 32996-2025
Standard Name：表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜
English Name：Surface chemical analysis—Analysis of metal oxide films by glow discharge optical emission spectrometry
Standard Status：现行
Release Date：2016-10-13
Effective Date：2026-01-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：71.040.40
CCS Number：G04
Related Standards
Referenced Standards：ISO 14284,ISO 14707
Adopted Standards：ISO/TS 25138:2025
Adopted Standard Name：《表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜》
Adoption Level：IDT
Publication Information
Number of pages：40
Number of words：60 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2025-06-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：32996
Drafter：陈永康、徐建、赵志娟、张云艳、张笑旻、郝萍、王帅、周莹、刘芬、吴立敏
Drafting Organization：上海市计量测试技术研究院、上海科技大学、中国科学院化学研究所
Management Organization：全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)
Proposing Department：全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)
