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Test methods for spike of epitaxial layers
Standard in brief
Scope of Application：
本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。
本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4 mm的钉缺陷。如果钉缺陷数量比较少且彼此不相连，可对钉缺陷进行计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。
Basic information
Standard No：YS/T 24-2016
Standard Name：外延钉缺陷的检验方法
English Name：Test methods for spike of epitaxial layers
Standard Status：现行
Release Date：1992-01-01
Effective Date：2016-09-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：77.040
CCS Number：H21
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 14264
Publication Information
Number of pages：8
Number of words：9 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2017-07-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：中华人民共和国工业和信息化部
Standard Type：QT
Standard Attribute：YS
Other Standard Number：24
Drafter：马林宝、杨帆、孙燕、徐新华
Drafting Organization：南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
Management Organization：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
Proposing Department：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
