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Evaporated titanium material
Standard in brief
Scope of Application：
本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同（或订货单）内容。
本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。
Basic information
Standard No：YS/T 1141-2016
Standard Name：钛蒸发料
English Name：Evaporated titanium material
Standard Status：现行
Release Date：2016-07-11
Effective Date：2017-01-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：77.150.50
CCS Number：H64
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 2828.1,GB/T 4698.7,GB/T 4698.14,GB/T 4698.15,YS/T 891,YS/T 892
Publication Information
Number of pages：12
Number of words：10 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：No
Print Publication Date：2017-05-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：中华人民共和国工业和信息化部
Standard Type：QT
Standard Attribute：YS
Other Standard Number：1141
Drafter：张涛、刘书芹、何金江、万小勇、徐学礼、罗俊锋、丁照崇、王越、高岩、刘冬青、吴艳华
Drafting Organization：有研亿金新材料有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
Management Organization：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
Proposing Department：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
