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Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 5:RF MEMS switches
Standard in brief
Scope of Application：
本文件界定了用于评估和确定射频MEMS开关的基本额定值和特性的术语、定义和符号，描述了参数测试方法。本文件适用于各种类型的射频MEMS开关，射频MEMS开关的一般说明见附录A。按接触方式分类，包括直流触点型开关和电容触点型开关；按结构分类，包括串联开关和并联开关，射频MEMS开关的几何结构说明见附录B；按开关网络分类，包括单刀单掷开关、单刀双掷开关和双刀双掷开关等；按驱动方式分类，包括静电驱动开关、热电驱动开关、电磁驱动开关和压电驱动开关等。射频MEMS开关在多频带或多模式移动电话、智能雷达系统、可重构射频器件和系统、SDR（软件无线电）电话、测试设备、可调谐器件和系统、卫星等方面应用广泛，射频MEMS开关的应用说明见附录E。
Basic information
Standard No：GB/T 42709.5-2023
Standard Name：半导体器件 微电子机械器件 第5部分：射频MEMS开关
English Name：Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 5:RF MEMS switches
Standard Status：现行
Release Date：2023-05-23
Effective Date：2023-09-01
Language of Publication：中文简体
Standard Classification
ICS Number：31.200
CCS Number：L40
Related Standards
Referenced Standards：GB/T 4937.12-2018,GB/T 4937.27-2023,IEC 60747-1:2006,IEC 60747-16-1,IEC 60747-16-4:2004,IEC 60749-5:2017,IEC 60749-10:2022
Adopted Standards：IEC 62047-5:2011
Adopted Standard Name：《半导体器件 微电子机械器件 第5部分:射频MEMS开关》
Adoption Level：IDT
Publication Information
Number of pages：36
Number of words：50 K
Format：大16
Edition：1
Color Pages：0
Electronic Version：Yes
Color Images：Yes
Print Publication Date：2023-05-01
Standard Revision Information
Has Amendment：No
Other Information
Application Dept：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
Standard Type：CN
Standard Attribute：GB
Other Standard Number：42709.5
Drafter：刘若冰、李博、张威、陈得民、崔波、翟晓飞
Drafting Organization：中国电子技术标准化研究院、中国电子信息产业集团有限公司、北京大学、北京必创科技股份有限公司、河北美泰电子科技有限公司
Management Organization：中华人民共和国工业和信息化部
Proposing Department：中华人民共和国工业和信息化部
