Chinese Standard: GB/T 11093-2007

Liquid encapsulated czochralski-grown gallium arsenide single crystals and as-cut slices

全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

本标准规定了液封直拉法砷化镓单晶及切割片的要求、试验方法、检验规则和标志、包装运输贮存等。
本标准适用于液封直拉法制备的砷化镓单晶及其切割片。产品供制作微波器件、集成电路、光电器件、传感元件和红外线窗口等元器件用材料。

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