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Chinese Standard: GB/T 14600-2009

Gas for electronic industry—Nitrous oxide

全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会

本标准规定了氧化亚氮的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于电子工业中化学气相淀积工艺。
分子式:N2O。
相对分子质量:44.012 8(按2005年国际相对原子质量计算)。

This standard is the original Chinese electronic standard.
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