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Chinese Standard: GB/T 14601-2009

Gas for electronic industry—Ammonia

全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会

本标准适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相淀积,也可用于硅或氧化硅的氮化。
分子式:NH3。
相对分子质量:17.031(按2005年国际相对原子质量)。

This standard is the original Chinese electronic standard.
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