Gases for electronic industry—Hydrogen chloride
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。
本标准适用于以工业氯化氢为原料，采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺，也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。
分子式：HCl。相对分子质量：36.458（按2009年国际相对原子质量计算）。
This standard is the original Chinese electronic standard.
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