Chinese Standard: GB/T 14604-2009

Gas for electronic industry—Oxygen

全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会

本标准规定了电子工业用氧的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧，以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。
分子式：O2。
相对分子质量：31.998 8（按2005年国际相对原子质量计算）。

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