Chinese Standard: GB/T 14851-2009

Gas for electronic industry—Phosphine

全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会

本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。
分子式：PH3。
相对分子质量：33.99758（按2005年国际相对原子质量计算）。

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