Chinese Standard: GB/T 16942-2009

Gas for electronic industry—Hydrogen

全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会

本标准规定了电子工业用氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。

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