Chinese Standard: GB/T 16943-2009

Gas for electronic industry—Helium

全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会

本标准规定了氦的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦，以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制造中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。
分子式：He。
相对分子质量：4.003（按2005年国际相对原子质量）。

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