Chinese Standard: GB/T 16944-2009

Gas for electronic industry—Nitrogen

全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会

本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮，以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压，化学气相淀积等。

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