Chinese Standard: GB/T 17874-2010

Gases for electronic industry-Boron trichloride

全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)

本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
 分子式：BCl3。
 相对分子质量：117.1691(按2007年国际相对原子质量计算)。

This standard is the original Chinese electronic standard.
If you need translation, please contact email: ChineseStandardsLibraryS001@gmail.com.
After you successfully purchase, we will send the electronic version of this standard to your email address.