Chinese Standard: GB/T 18867-2014

Gases for electronic industry—Sulphur hexaflouride

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。

本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。

分子式：SF6。相对分子质量：146.0564192（按2007年国际相对原子质量计算）。

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