Gases for electronic industry—High purity chlorine
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
本标准规定了高纯氯的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存。
本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、平板显示器、太阳能等技术领域。
分子式：Cl2。
相对分子质量：70.90（按2009年国际相对原子质量计算）。
This standard is the original Chinese electronic standard.
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