Gases for electronic industry—Nitrogen trifluoride
全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC 203/SC 1)
本标准规定了瓶装电子工业用气体——三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。
分子式：NF3。
分子量：71.0019(按2001年国际相对原子量)
This standard is the original Chinese electronic standard.
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