Nano,Sub-micron scale film on steel—Quantitative depth profile analysis—Glow discharge atomic emission spectrometry
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
本标准采用辉光放电原子发射光谱法用于定量测定钢表面纳米、亚微米尺度薄膜（金属镀膜和氧化膜）中膜厚、镀层质量（单位面积）和薄膜中的元素深度分布。
本方法适用于测定3 nm~1 000 nm厚度的钢表面薄膜，适用的元素包括：铁、铬、镍、铜、钛、锰、铝、碳、磷、氧、氮和硅。
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