Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability,availability and maintainability(RAM)
MOD SEMI E10-0304
全国半导体设备与材料标准化技术委员会
2.1 本标准定义了设备的六个基本状态，所有的设备条件和阶段都必须归入这六个状态。设备的状态由功能决定，而不管是由谁来执行此功能。本规范中所涉及的设备可靠性的测量主要集中在设备失效和设备使用的关系上，而不是设备失效和设备经历的(日历)总时间之间的关系。
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