Gases for electronic industry—Hydrogen selenide
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)
本标准规定了硒化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。
分子式：H2Se。
相对分子质量：80.975 88（按2007年国际相对原子质量计算）。
This standard is the original Chinese electronic standard.
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