Fluorine and mixed gases of fluorine-nitrogen
全国半导体设备和材料技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203)
本标准规定了氟和氟氮混合气的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全的要求。
<br/ 本标准适用于电解无水氟化氢并经过纯化工艺处理后获得的氟。氟用于制备六氟化铀、六氟化硫、三氟化硼、二氟化银、三氟化钴和三氟化镁等氟化物，也可用于激光气或塑料氟化处理等领域。
氟氮混合气制备采用压力法。混合气主要用于汽车、制药工业中材料氟化处理。
氟的分子式：F2。
氟的相对分子质量：37.996 806 4(按2007年国际相对原子质量计算)。
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