Surface chemical analysis—Handling of specimens prior to analysis
IDT ISO 18117:2009
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
本标准规定了表面化学分析样品的处理和存放容器的要求。本标准适用于表面化学分析设备的用户了解表面化学分析技术的特殊样品处理要求，特别是俄歇电子能谱（AES）、二次离子质谱（SIMS）和X射线光电子能谱（XPS或ESCA）。
本标准也适用于对表面组成敏感的其他分析技术，如TXRF。对于特定的实例，特定的样品，需要更加注意。
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