Surface chemical analysis—Medium resolution Auger electron spectrometers—Calibration of energy scales for elemental analysis
MOD ISO 17973:2002
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
本标准规定了俄歇电子谱仪动能标不确定度为3 eV时的校准方法，用于识别表面常规元素。另外，还规定一种用于确定校准周期的方法。本标准适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于等于0.5%，微分模式调制幅度的峰峰值为2 eV。本标准适用于配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法，具有4 keV或更高束能电子枪的谱仪。
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