Microbeam analysis—Guidelines for orientation measurement using electron backscatter diffraction
IDT ISO 24173:2009
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
本标准给出了使用电子背散射衍射(EBSD)技术进行晶体取向测量的指南，使测量数据具有较高的可靠性和重复性，本标准确立了试样制备、仪器配置、校正以及数据采集的一般原则。
本标准适用于EBSD对块状晶体样品的晶粒取向分析。
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