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Test method for stress of monocrystalline sapphire ingot
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
本标准规定了蓝宝石单晶晶锭的应力测试方法。
本标准适用于经过加工后直径为50.8 mm~200 mm的c向蓝宝石晶锭的应力测试,其他尺寸蓝宝石晶锭(以下简称晶锭)的应力测试可参照使用。
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