Chinese Standard: GB/T 31227-2014

Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films

全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)

本标准规定了使用原子力显微镜（AFM）测量表面粗糙度的方法。
本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100 nm的薄膜。
其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。

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