Gas for electronic industry—Perfluoropropane
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。
本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备，并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品，以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。
分子式：C3F8。相对分子质量：188.017（按2011年国际相对原子质量）。
This standard is the original Chinese electronic standard.
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