Chinese Standard: GB/T 31987-2015

Gas for electronic industry—Germane

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。
本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。
分子式：GeH4。
相对分子质量：76.662（按2011年国际相对原子质量计算）。

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