Vacuum technology—Selection of leak test methods for vacuum equipment
全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)
本标准规定了真空设备检漏方法选择的人员资格要求、通用要求、检漏实施的安全要求、选择程序及选择原则、检漏方法的特征参数。本标准适用于真空设备的检漏方法选择，适用的真空设备包括真空容器、真空管道、真空泵、真空阀门、真空镀膜设备、真空干燥设备、真空冷冻干燥设备、表面分析设备、真空冶金设备、空间环境模拟设备、半导体生产设备等真空设备。工作时涉及真空状态的其他设备的检漏方法选择也可参照本标准执行。
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