Chinese Standard: GB/T 32386-2015

Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。

本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。

分子式：WF6。

分子量：297.830 419 2（按2009年国际相对原子质量计算）。

This standard is the original Chinese electronic standard.
After you successfully purchase, we will send the electronic version of this standard to your email address.
If you need translation, please contact email: ChineseStandardsLibraryS001@gmail.com.