Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS
MOD IEC 62047-4:2008
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
本标准描述了用半导体制造的微机电系统（MEMS）的总规范，规定了用于IECQCECC体系质量评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。
本标准适用于各类MEMS器件［如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统（MicroTAS）和微能源MEMS］。
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