Chinese Standard: GB/T 34085-2017

Gas for electronic industry—Trifluoromethane

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。

本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。

分子式：CHF3。

相对分子质量：70.013（按2011年国际相对原子质量)。

This standard is the original Chinese electronic standard.
After you successfully purchase, we will send the electronic version of this standard to your email address.
If you need translation, please contact email: ChineseStandardsLibraryS001@gmail.com.