Chinese Standard: GB/T 34178-2017

Silica glass substrates for photomask

全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC　447)

本标准规定了光掩模石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板)的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。

本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二级管（LED)等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。

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