Determination of metal content in gases—Inductively coupled plasma mass spectrometry method
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
本标准规定了应用电感耦合等离子体质谱仪测定电子工业用气体中金属元素含量的方法。金属元素测定范围见表1。
本标准适用的电子工业用气体种类：氧、氮、氩、氦、氢、氨、氯化氢、硅烷、高纯氯、六氟化硫、三氯化硼、三氟化氮、氧化亚氮、六氟乙烷、六氟丁二烯等气体。
本标准适用的电子工业用气体取样状态：气态。
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