Chinese Standard: GB/T 35049-2018

Vacuum technology—Leak testing method by quadrupole mass spectrometer

全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)

本标准规定了四种常用的四极质谱检漏方法实施的一般要求，每种检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。

本标准适用于真空行业以及其他行业中采用四极质谱仪进行的泄漏检测工作，适用于部组件级、分系统级以及系统级产品的密封性能测试。

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