Microbeam analysis—Scanning electron microscopy with energy dispersive X-ray spectrosmetry—Determination of numberical concentration of inorganic fibrous particles in ambient air
MOD ISO 14966:2002
全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38)
本标准规定了利用扫描电镜测量环境空气中石棉等无机纤维状颗粒计数浓度的方法。此方法同时利用X射线能谱分析技术（EDX）分析纤维状颗粒的元素组成，并根据此数据区分石棉纤维、硫酸钙纤维和其他无机纤维。
本标准适用于环境空气中石棉等无机纤维状颗粒计数浓度的测定，也适用于建筑物内空气中石棉等无机纤维状颗粒计数浓度的检测。例如含石棉建筑材料拆除更换后，空气中残留石棉纤维状颗粒浓度的测定。如果检测时未发现纤维（纤维根数为0），此时其95%置信区间上限为2.99根。如果每平方厘米样品膜上通过1.0 m3空气，用扫描电镜分析这张膜上1.0 mm2面积，即通过被分析面积膜的空气体积为0.010 m3时，检出限大约是300根/m3纤维。
滤膜试样上的纤维状颗粒浓度检测范围大约在3根/cm2～200根/cm2。空气中的浓度值（纤维根数/m3）取决于采样体积，可计算得出。注
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