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Collection of metallographs on defects of sapphire crystal
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
本标准规定了蓝宝石晶体缺陷的术语和定义、形貌特征及产生原因。
本标准适用于蓝宝石单晶材料制备中各种缺陷的检验和分析。
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